YA樣品臺 

    主要用于硅和藍(lán)寶石等單晶的大型晶體柱面及片的檢測,增加了承重軌道,可測重1-30公斤,直徑2-8英寸棒。同時(shí)加有氣泵,可測2-8英寸片狀樣品。

YB樣品臺   

    主要用于硅及藍(lán)寶石等單晶的圓柱形晶體的端面檢測,增加了承重軌道。樣品臺采用V型槽設(shè)計(jì),V型槽的寬度可自動(dòng)調(diào)整,便于不同規(guī)格大型圓柱形晶體在樣品臺上360°旋轉(zhuǎn)。人性化的設(shè)計(jì),使設(shè)備更合理,可測重1-30公斤、直徑2-8英寸、長350mm棒材端面,同時(shí)加有氣泵,可測2-8英寸片狀樣品。

YD樣品臺 

   主要用于硅及藍(lán)寶石等單晶片的外圓參考面的檢測,吸氣盤上接收X射線的位置采用開放式設(shè)計(jì),克服了吸氣盤遮擋X射線和定位不準(zhǔn)的問題,滿足不同規(guī)格晶片參考邊的檢測。樣品臺的吸氣泵可把2-8英寸的晶片吸住,使檢測更加準(zhǔn)確。

Ye樣品臺     

    主要用于硅和藍(lán)寶石等晶片的多點(diǎn)測量,晶片可在樣品臺上手動(dòng)旋轉(zhuǎn),如0°、90°、180°、270°等,可滿足客戶對晶片的特殊測量需求。